POLISHING PAD
研磨パッド
千代田シーガルの中核事業として、研磨パッドを製造・開発しています。
多種多様かつ高度な技術ニーズに応えるため、さまざまな研磨パッドを取り揃えています。
01
SUEDE
スエードタイプ
千代田シーガルの代名詞とも言える、仕上げ用途に適した素材です。
最終仕上げ研磨としての研磨能力や表面無欠陥性を高めています。表面加工（粗さ、溝加工など）にも対応できます。
- シリコンウェハー
- サファイアウェハー
- SiCウェハー
- その他化合物ウェハー
- 光学用レンズ
- ガラス
- その他
02
NON-WOVEN FABRIC
不織布タイプ
仕上げ研磨をはじめ、一次研磨などに適した素材です。
低硬度なものから高硬度なものまで、さまざまな特徴があります。
溝切り加工（V字・U字など）にも対応できます。
- シリコンウェハー
- サファイアウェハー
- SiCウェハー
- その他化合物ウェハー
- セラミック
- 金属
- その他
03
URETHANE
ウレタンタイプ
微細な気泡構造を持つ、硬質なウレタン樹脂の素材です。
耐久性や耐薬品性に優れ、ガラスやセラミックなどの硬脆材料の研磨にも適しています。溝切り加工（V字・U字など）にも対応できます。
- SiCウェハー
- その他化合物ウェハー
- ガラス
- セラミック
- その他
